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技術文獻
氣體傳輸泵
氣體傳輸泵是一種能是氣體不斷的吸入和排出,借以達到抽氣目的的真空泵,這種泵基本上有兩種類型:
變?nèi)菡婵毡?br /> 利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵,氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復式及旋片式兩種:
(1) 往復式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做往復式運動,將氣體吸入、壓縮并排出。因此,又稱為活塞式真空泵。
(2) 旋片式真空泵:是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉運動,將氣體吸入、壓縮并排出。旋轉真空泵又有如下幾種形式:
① 油封式真空泵:它是利用油類密封各運動部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉變?nèi)菡婵毡谩_@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結構特點分為如下五種形式。
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